気相エピタキシャル成長

半導体デバイスの製造では、高品質な薄膜を作るために気相エピタキシャル成長が用いられる。

研究室では、新しい材料の気相エピタキシャル成長の条件を日々探求している。

この技術は、気相エピタキシャル成長によって大幅に性能が向上した。