異方導電膜

半導体チップの実装技術において、異方導電膜は微細な接続を可能にする。

電子部品の小型化・高性能化には、高い信頼性を持つ異方導電膜の開発が不可欠だ。

この研究では、異方導電膜の形成プロセスがデバイスの性能に与える影響を調査した。