フォトリソグラフィー

半導体製造の基盤技術であるフォトリソグラフィーは、微細加工に不可欠だ。

フォトリソグラフィーは、光を用いてパターンを転写する技術である。

研究者たちは、フォトリソグラフィーのさらなる高精度化を目指している。