ＡＬＥ

半導体製造において、ＡＬＥは極めて薄い膜を精密に成膜する技術として注目されている。

ＡＬＥを用いることで、原子レベルでの膜厚制御が可能になり、デバイス性能が向上する。

この材料の特性を最大限に引き出すため、ＡＬＥによる薄膜形成が試みられている。