サブミクロン

半導体製造プロセスでは、サブミクロンレベルの微細加工技術が不可欠である。

このフィルターはサブミクロン粒子まで捕集できるため、非常に高い清浄度を実現する。

研究室では、サブミクロンサイズの材料を合成するための実験が進められている。