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露光装置

ろこうそうち
名詞
1
標準
lithography
作例 · 標準
半導体の製造工程では、極めて精密な回路パターンをウェハーに焼き付けるために、最新鋭の露光装置が用いられる。
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彼は、半導体露光装置のトップメーカーで、新しい技術の開発を担当しているエンジニアだ。
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この工場には、クリーンルーム内に巨大な露光装置が何台も設置されている。
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