電子線

Ｘ線だと物質の内部に深く入るが、電子線は深く入らないように出来るから、浅いところからの反射像によって、浅い場所の状態を験べると云う便利があるのだ。

半導体製造プロセスでは、微細なパターンを形成するために電子線が利用される。

彼は電子線を使った新しい材料加工技術を開発した。

電子線の照射により、物質の表面を改質する研究が進められている。