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液相エピタキシャル成長

えきそうエピタキシャルせいちょう
名詞
1
標準
liquid phase epitaxial growth
作例 · 標準
高品質な半導体デバイスの作製には、液相エピタキシャル成長技術が不可欠だ。
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この材料は、液相エピタキシャル成長によって基板上に薄膜として形成される。
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研究者たちは、液相エピタキシャル成長の条件を最適化し、デバイス性能の向上を目指している。
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