気相エピタキシー

高性能LEDの開発には、気相エピタキシーの精密な制御が不可欠だ。

気相エピタキシーは、シリコン以外の化合物半導体でも広く応用されている。

次世代の太陽電池に向けて、気相エピタキシーによる材料合成が注目されている。