ＶＰＥ

新しいLEDの製造ラインには、高品質な結晶成長を可能にする最新のVPE装置が導入されている。

半導体工学の論文で、VPE法を用いたガリウム砒素の薄膜形成における温度条件について考察した。

研究室では、より純度の高い材料を生成するためにVPEプロセスの最適化に日々取り組んでいる。