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拡散ポンプ

かくさんポンプ
名詞
1
標準
diffusion pump
文例 · 用例
今ならば、10-6ミリの真空はさほど驚くことでもないが、油拡散ポンプなどはもちろんまだ発明されておらず、ゲーデの三段の水銀拡散ポンプが、ようやく一般に用い出されていた時代だけに、この真空には随分骨を折らされたものであった。
中谷宇吉郎 実験室の記憶 青空文庫
作例 · 標準
高真空状態を作り出すために、ターボ分子ポンプと拡散ポンプを併用する。
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拡散ポンプは、作動油を加熱・蒸発させ、その蒸気流で気体分子を排気する仕組みだ。
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実験装置の真空度が上がらない。拡散ポンプのオイルが劣化しているのかもしれない。
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ウィキペディア

拡散ポンプ は、半導体製造・加工装置などの真空チャンバーで主に用いられる真空ポンプである。主に油拡散ポンプが使われるが、用途によっては水銀拡散ポンプが使われることもある。DPと略されることもある。

出典: 拡散ポンプ — ウィキペディア / CC BY-SA 4.0